XYZ軸TSD不銹鋼直動平臺(水平臺面型)
l 移動臺面為水平的XYZ軸TSD不銹鋼平臺。
l 其基本特性,如高剛性,高承載能力,優(yōu)異的直線性和精密定位性能等,和TSD直動平臺一樣。
l 和一般鋼質(zhì)或鋁質(zhì)平臺相比,不銹鋼平臺有很多優(yōu)點。它強度非常好,經(jīng)久耐用,抗沖擊,耐磨損,適用于超凈工作區(qū)和真空環(huán)境。它們沒作表面處理,其不銹鋼測微頭和導軌部采用了硅基真空潤滑脂。適用于空間窄,密封性高的場合。
l L型的Z軸的操作部位于上方,因此不受安裝方向的限制,具有很好的操作性能。 |