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SFS 西格瑪精密（壓電陶瓷）平臺(tái)
l SFS 系列平臺(tái)是我們最新開發(fā)的，利用了彈性變形和壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)件的超精密定位平臺(tái)。其中，有部分產(chǎn)品內(nèi)置了位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，可以實(shí)現(xiàn)20nm 的分辨率，90μm 行程，320μm 的手動(dòng)粗調(diào)。
l 我們采用了無空行程的金屬彈性變形機(jī)構(gòu)，以及5-6 倍的壓電陶瓷變形放大機(jī)構(gòu)。并采用我公司的超精密加工技術(shù)進(jìn)行生產(chǎn)制造。
注意
· 所有數(shù)據(jù)的測量溫度環(huán)境為攝氏20 ± 1 ℃。使用前，請(qǐng)仔細(xì)閱讀使用說明書和安裝說明書。
· 所有數(shù)據(jù)均為單個(gè)平臺(tái)的數(shù)據(jù)，而非組裝后的復(fù)合體，“復(fù)合”平臺(tái)。
· 所有數(shù)據(jù)均為許用載荷內(nèi)的值，而且載荷在平臺(tái)中心，無偏載。
· 所有數(shù)據(jù)均為在上面板上的值。
· 行程為開環(huán)控制時(shí)的數(shù)據(jù)。
· 直動(dòng)平臺(tái)的重復(fù)定位精度值是采樣時(shí)間為350µs 時(shí)的閉環(huán)控制時(shí)的值；對(duì)于轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)和擺動(dòng)平臺(tái)，則是開環(huán)控制時(shí)的值。
· 分辨率是使用FINE-01，503 時(shí)的數(shù)據(jù)。
· 采用FINE 控制器，改善了閉環(huán)控制時(shí)的直線性。
· CL：采用位移傳感器的閉環(huán)控制平臺(tái)／ OP：無位移傳感器的開環(huán)控制平臺(tái) |
