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SFS 西格瑪精密（壓電陶瓷）平臺

l         SFS 系列平臺是我們最新開發(fā)的，利用了彈性變形和壓電陶瓷驅(qū)動件的超精密定位平臺。其中，有部分產(chǎn)品內(nèi)置了位移傳感器可以實現(xiàn)閉環(huán)控制，可以實現(xiàn)20nm 的分辨率，90μm 行程，320μm 的手動粗調(diào)。

l         我們采用了無空行程的金屬彈性變形機構(gòu)，以及5-6 倍的壓電陶瓷變形放大機構(gòu)。并采用我公司的超精密加工技術進行生產(chǎn)制造。

注意

·                     所有數(shù)據(jù)的測量溫度環(huán)境為攝氏20 ± 1 ℃。使用前，請仔細閱讀使用說明書和安裝說明書。

·                     所有數(shù)據(jù)均為單個平臺的數(shù)據(jù)，而非組裝后的復合體，“復合”平臺。

·                     所有數(shù)據(jù)均為許用載荷內(nèi)的值，而且載荷在平臺中心，無偏載。

·                     所有數(shù)據(jù)均為在上面板上的值。

·                     行程為開環(huán)控制時的數(shù)據(jù)。

·                     直動平臺的重復定位精度值是采樣時間為350µs 時的閉環(huán)控制時的值；對于轉(zhuǎn)動平臺和擺動平臺，則是開環(huán)控制時的值。

·                     分辨率是使用FINE-01，503 時的數(shù)據(jù)。

·                     采用FINE 控制器，改善了閉環(huán)控制時的直線性。

·                     CL：采用位移傳感器的閉環(huán)控制平臺／ OP：無位移傳感器的開環(huán)控制平臺